电迁移评估系统-AME系列测量方案
      随着半导体器件小型化的发展,在严苛恶劣的条件下评估电迁移变得至关重要。
      AEM  系列电迁移评估系统提供基于温度和电流应力(影响设备使用寿命的两个主要因素)的准确测量,以及用于确定判断设备寿命所需参数的分析软件。
      AEM  系列旨在实现从严苛评估到生产管理的广泛评估需求,提供增强的可操作性、可靠性和简化的数据分析。
350°C  下的电迁移评估
表现
效用
软件
分析软件
规格
系统变化
系统框图
配件
选项
安全设备
监控画面
条件设定画面
40通道评估测试一个柜子里有超过3个烤箱
连接板
高达  350°C  的精度高的温度控制
四种测试模式
电流应力应用高达200mA
高可靠性双触点板结构
2个通道  (DUT)  =  1个插座5个插座  =  1个DUT板8个DUT板  =  1个烤箱
3个烤箱  =  1个橱柜至多80个通道或DU可以在单个烤箱中进行测试,使其240每个机柜的频道。主机PC,但是,至多可以控制  1,200  个通道或五个满载的机柜。
监控屏幕可以提供有关DUT的测试进度、电阻和变化率的实时信息。
可为每个  DUT  配置电气参数和时间设置。还可以配置温度特性测试参数和压力测试温度设置。
即使使用具有不同引脚布局的DUT,引脚分配加扰功能也可以评估  ESPEC  DUT  板。
该烤箱能够测试高达  350°C  的温度,并在  300°C  时提供  ±3.5°C  的精度高的温度分布。每个烤箱都配有一个单独的控制器,用于单独的温度设置。
AEM  系列能够通过在施加温度和电流时测量电阻来执行四种不同的测试:电迁移、应力迁移、温度特性  (TCR)  和挤压。
AEM  系列能够施加  0.1  mA  和  200  mA  之间的应力电流。
DUT  板和插座连接具有双触点结构,可实现更牢固的固定。  ESPEC  的专有设计还可以防止  DUT  断开连接。这种结构设计保证了在高温下长期评估的较高可靠性。

*350°C 型号插座(300 mil 和 600 mil)作为标准配备。 也可提供 250°C 型号(600 milonly)(可选)。
被测板
尺寸:220(宽)×465(高)×460(深)mm
重量:约  1.6  公斤。
铜镶嵌的可靠性问题
铜大马士革具有低电阻和高可靠性的优点,但是当受到热应力时,连接多层布线的通孔结构中会出现多种现象。
    安全须知
•不要使用易爆或易燃的样品,或其中含有此类物质。这样做可能是危险的,因为这可能导致火灾或爆炸。
•样品中积聚在水箱或排气管中的蒸汽管道可能会着火并引起火灾,因此设备注意要定期清洁。渗入并积聚在设备绝缘层可能导致很严重的火灾。
主机电脑
主机PC
软件:视窗操作系统
测试设置和测试监控管理和数据分析
不间断电源
对于主机  PC

•  DUT  板(每个烤箱  8  个板) 
•  安装  CD
•  用户手册
•  电阻检查板(1块)
•  被测板 
•  +350°C应用模型(与标准附件相同)
•  +250°C应用模型(DIP28pin/600mil)
•  电阻检查板
•  统计软件附加许可证
•  温度记录仪(100mm6点型) 
•  无纸记录仪(外置式)
•  N2  进气孔
•  降压变压器(外置式)
 
•  漏电断路器
•  高低温限报警
•  断线检测电路
•  独立式过热保护器
•  使用看门狗定时器检测PC冻结
•  3级状态指示灯
•  紧急停止开关(测试单元)
烤箱单元
烤箱
温度范围:+65  至  +350°C
连接板
用于DUT板连接包括DUT引脚加扰功能。
测试单元
电磁模块
用于DUT功率控制和DUT电阻测量每通道1个恒定电源测试设置和测试监控管理和数据分析
用于测量的  PC
测量数据聚合和测量控制
不间断电源
测量用电脑