电迁移评估系统-AME系列测量方案
随着半导体器件小型化的发展，在严苛恶劣的条件下评估电迁移变得至关重要。
AEM 系列电迁移评估系统提供基于温度和电流应力（影响设备使用寿命的两个主要因素）的准确测量，以及用于确定判断设备寿命所需参数的分析软件。
AEM 系列旨在实现从严苛评估到生产管理的广泛评估需求，提供增强的可操作性、可靠性和简化的数据分析。
AEM 系列电迁移评估系统提供基于温度和电流应力（影响设备使用寿命的两个主要因素）的准确测量，以及用于确定判断设备寿命所需参数的分析软件。
AEM 系列旨在实现从严苛评估到生产管理的广泛评估需求，提供增强的可操作性、可靠性和简化的数据分析。
350°C 下的电迁移评估
表现
效用
软件
分析软件
规格
系统变化
系统框图
配件
选项
安全设备
监控画面
条件设定画面
40通道评估测试一个柜子里有超过3个烤箱
连接板
高达 350°C 的精度高的温度控制
四种测试模式
电流应力应用高达200mA
高可靠性双触点板结构
2个通道 (DUT) = 1个插座5个插座 = 1个DUT板8个DUT板 = 1个烤箱
3个烤箱 = 1个橱柜至多80个通道或DU可以在单个烤箱中进行测试，使其240每个机柜的频道。主机PC，但是，至多可以控制 1,200 个通道或五个满载的机柜。
3个烤箱 = 1个橱柜至多80个通道或DU可以在单个烤箱中进行测试，使其240每个机柜的频道。主机PC，但是，至多可以控制 1,200 个通道或五个满载的机柜。
监控屏幕可以提供有关DUT的测试进度、电阻和变化率的实时信息。
可为每个 DUT 配置电气参数和时间设置。还可以配置温度特性测试参数和压力测试温度设置。
即使使用具有不同引脚布局的DUT，引脚分配加扰功能也可以评估 ESPEC DUT 板。
该烤箱能够测试高达 350°C 的温度，并在 300°C 时提供 ±3.5°C 的精度高的温度分布。每个烤箱都配有一个单独的控制器，用于单独的温度设置。
AEM 系列能够通过在施加温度和电流时测量电阻来执行四种不同的测试：电迁移、应力迁移、温度特性 (TCR) 和挤压。
AEM 系列能够施加 0.1 mA 和 200 mA 之间的应力电流。
DUT 板和插座连接具有双触点结构，可实现更牢固的固定。 ESPEC 的专有设计还可以防止 DUT 断开连接。这种结构设计保证了在高温下长期评估的较高可靠性。
被测板
尺寸：220（宽）×465（高）×460（深）mm
重量：约 1.6 公斤。
重量：约 1.6 公斤。
铜镶嵌的可靠性问题
铜大马士革具有低电阻和高可靠性的优点，但是当受到热应力时，连接多层布线的通孔结构中会出现多种现象。
安全须知
•不要使用易爆或易燃的样品，或其中含有此类物质。这样做可能是危险的，因为这可能导致火灾或爆炸。
•样品中积聚在水箱或排气管中的蒸汽管道可能会着火并引起火灾，因此设备注意要定期清洁。渗入并积聚在设备绝缘层可能导致很严重的火灾。
主机电脑
•主机PC
软件：视窗操作系统
测试设置和测试监控管理和数据分析
•不间断电源
对于主机 PC
• DUT 板（每个烤箱 8 个板）
• 安装 CD
• 用户手册
• 电阻检查板（1块）• 被测板
• ＋350°C应用模型（与标准附件相同）
• ＋250°C应用模型（DIP28pin/600mil）
• 电阻检查板
• 统计软件附加许可证
• 温度记录仪（100mm6点型）
• 无纸记录仪（外置式）
• N2 进气孔
• 降压变压器（外置式）
• 漏电断路器
• 高低温限报警
• 断线检测电路
• 独立式过热保护器
• 断线检测电路
• 独立式过热保护器
• 使用看门狗定时器检测PC冻结
• 3级状态指示灯
• 紧急停止开关（测试单元）
烤箱单元
•烤箱
温度范围：+65 至 +350°C
•连接板
用于DUT板连接包括DUT引脚加扰功能。
测试单元
•电磁模块
用于DUT功率控制和DUT电阻测量每通道1个恒定电源测试设置和测试监控管理和数据分析
•用于测量的 PC测量数据聚合和测量控制
•不间断电源
测量用电脑
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