中端探针台 - 华测官网

Huace-6中端探针台

中端探针台

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

技术参数

产品特点及应用

尺寸：4英寸/6英寸/8英寸；

水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；

X-Y移动行程：4英寸×4英寸/6英寸×6英寸；

X-Y移动精度：10μm/1μm；
样品台Z轴调节：可升降10mm；
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环；
针座平台：U型针座平台，最多可放置6个探针座；
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极；
外形尺寸：400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高；
设备重量：约40/60KG；

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm；
光源：外置LED环形光源/同轴光源；
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素；

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm；
移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附，真空吸附；
线缆：同轴线/三轴线；

漏电精度：10pA/100fA/10fA；

固定探针：弹簧固定/管状固定；
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子；
针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
针尖材质：钨钢；铍铜；

加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；

屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；

显微镜快速倾仰装置；

激光系统；

探针卡夹具；

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等；

◆ 可用于8英寸以内样品测试；

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；

◆ 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动；

◆ 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用。

◆ 台体规格

◆ 光学系统

◆ 定位器

◆ 可选附件