Huace-8D双面探针台
双面探针台
探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer ， LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领域。
技术参数
台体配件技术参数
chuck尺寸：8英寸；
样品台Z轴调节：可升降10mm；
卡盘结构：普通/高温/带背电极等结构卡可选择；
水平旋转：可360°旋转，细调精度不大于0.1°，带角度锁死装置；
X-Y移动行程：8英寸×8英寸；
X-Y移动精度：10μm/1μm可选；
样品台Z轴调节：可升降10mm；
样品固定：样品夹定，尺寸可调；真空吸附固定，卡盘多圈吸附环可独立控制；
双面点阵平台：气动升降平台升起为双平台，落下可做单平台使用；平台针座数量：单平台最多放置8个CB-200针座；卡盘结构：普通/高温/带背电极等结构卡可选择；
温度范围：RT~300℃（400℃、500℃可选）；
温控精度：0.1℃；
温控稳定性：±1℃；
温控传感器：100Ω铂电阻传感器；
温控精度：0.1℃；
温控稳定性：±1℃；
温控传感器：100Ω铂电阻传感器；
CCD：200W/500W/1200W像素可选（正反面）；
显微镜类型：单筒/体视/金相显微镜可选；
放大倍率：16X-100X/20X-2000X ；
显微镜调节：水平方向绕立柱旋转X-Y移动2×2英寸，Z轴行程50.8mm；
显微镜类型：单筒/体视/金相显微镜可选；
放大倍率：16X-100X/20X-2000X ；
显微镜调节：水平方向绕立柱旋转X-Y移动2×2英寸，Z轴行程50.8mm；
光源：外置LED环形光源/同轴光源；
屏蔽箱；
高压测试配件；
光学防震桌；
射频测试配件；
镀金卡盘；
转接头；
探针卡夹具；
其他；
高压测试配件；
光学防震桌；
射频测试配件；
镀金卡盘；
转接头；
探针卡夹具；
其他；
显微镜类型：L型单筒显微镜；
连续变倍率：6.3:1；
放大倍率范围：0.75-5X；
连续变倍率：6.3:1；
放大倍率范围：0.75-5X；
放大倍率：315X（计算公式：变焦*CCD*显示器） ；
显微镜调节：万向移动 ；
光源：同轴光源 ；
X-Y-Z移动行程：12*12*12mm；
移动精度：10/2/0.7/0.5/0.35μm可选；
固定方式：磁力吸附/真空吸附可选；
移动精度：10/2/0.7/0.5/0.35μm可选；
固定方式：磁力吸附/真空吸附可选；
线缆：同轴线/三轴线可选；
漏电精度：10pA/100fA ；
接头类型：BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子等可选；
漏电精度：10pA/100fA ；
接头类型：BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子等可选；
材质：钨钢/铍铜可选；
针尖直径：0.2/1/2/5/10/20/50/100um可选；
针尖直径：0.2/1/2/5/10/20/50/100um可选；
◆ 台体规格
◆ 温控系统
◆ 正面光学系统
◆ 探针可选配件
◆ 背面光学系统
◆ 探针座
◆ 探针夹具
◆ 探针
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