Huace-8D双面探针台
双面探针台
     探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
      双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer , LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领域。

技术参数
台体配件技术参数
chuck尺寸:8英寸;
水平旋转:可360°旋转,细调精度不大于0.1°,带角度锁死装置;
X-Y移动行程:8英寸×8英寸;
X-Y移动精度:10μm/1μm可选;
样品台Z轴调节:可升降10mm;
样品固定:样品夹定,尺寸可调;真空吸附固定,卡盘多圈吸附环可独立控制;
双面点阵平台:气动升降平台升起为双平台,落下可做单平台使用;平台针座数量:单平台最多放置8个CB-200针座;
卡盘结构:普通/高温/带背电极等结构卡可选择;

温度范围:RT~300℃(400℃、500℃可选);
温控精度:0.1℃;
温控稳定性:±1℃;
温控传感器:100Ω铂电阻传感器;
CCD:200W/500W/1200W像素可选(正反面);
显微镜类型:单筒/体视/金相显微镜可选;
放大倍率:16X-100X/20X-2000X ;
显微镜调节:水平方向绕立柱旋转X-Y移动2×2英寸,Z轴行程50.8mm;
光源:外置LED环形光源/同轴光源;
屏蔽箱;
高压测试配件;
光学防震桌;
射频测试配件;
镀金卡盘;
转接头;
探针卡夹具;
其他
显微镜类型:L型单筒显微镜;
连续变倍率:6.3:1;
放大倍率范围:0.75-5X;
放大倍率:315X(计算公式:变焦*CCD*显示器) ;
显微镜调节:万向移动 ;
光源:同轴光源 ;
X-Y-Z移动行程:12*12*12mm;
移动精度:10/2/0.7/0.5/0.35μm可选;
固定方式:磁力吸附/真空吸附可选;
线缆:同轴线/三轴线可选;
漏电精度:10pA/100fA ;
接头类型:BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子等可选;
材质:钨钢/铍铜可选;
针尖直径:0.2/1/2/5/10/20/50/100um可选;
台体规格
温控系统
正面光学系统
探针可选配件
背面光学系统
探针座
探针夹具
探针