尺寸:8英寸/12英寸;
水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置;
X-Y移动行程:8英寸×8英寸/12英寸×12英寸;
X-Y移动精度:10μm/1μm;
样品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环;
针座平台:U型针座平台,最多可放置10个探针座;
平台升降:可快速升降6mm/可微调升降25mm;
背电极测试:样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极;
尺寸:
840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高;设备重量:约40/60KG;