Huace-6S高低温探针台
高低温探针台
     探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
技术参数
产品特点及应用
尺寸:6英寸/8英寸/12英寸;
水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置;
X-Y移动行程:6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸;
X-Y移动精度:10μm/1μm;
样品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环;
针座平台:U型针座平台,最多可放置6~12个探针座;
平台升降:可快速升降10mm/可微调升降10mm;
背电极测试:样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极
温度范围:-80℃~+400℃;
温度精度:0.01℃/0.1℃/1℃;
尺寸:840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高;
设备重量:约40/60KG;
显微镜类型:单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜;
放大倍率:16X-200X/20X-4000X;
移动行程:水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸,Z轴行程50.8mm;
光源:外置LED环形光源/同轴光源;
CCD:200万像素/500万像素/1200万像素;
X-Y-Z移动行程:12mm*12mm*12mm;
移动精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm;
吸附方式:磁力吸附/真空吸附;
线缆:同轴线/三轴线;
漏电精度:10pA/100fA/10fA;
固定探针:弹簧固定/管状固定;
接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子;
针尖直径:0.2μm/1
μm/2μm/5μm/10μm/20μm
针尖材质:钨钢;铍铜;
加热台
显示器;
转接头;
射频测试配件;
屏蔽箱;
光学平台
镀金卡盘;
光电测试配件

显微镜快速倾仰装置;
激光系统;
探针卡夹具;
◆ **可用于12英寸以内样品测试;
◆ 采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜;
◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量;
◆ 可升降调节适合加装探针卡;
◆ 可搭配多种类型显微镜;
◆ 结构模块化设计,可无缝升级;
◆ 探针台可根据客户要求定制。
台体规格
光学系统
定位器
可选附件