高低温真空探针台

Huace HT-11高低温真空探针台

高低温真空探针台

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至**温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

技术参数

产品特点及应用

极低温测试

高温无氧化测试

尺寸：2英寸/4英寸/6英寸；

水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；

样品固定：弹簧压片；
观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸；
真空度：10^-6torr ；

探针臂接口：4~6个探针臂接口；

其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口；

制冷方式：液氮/液氦/制冷机；

温度范围：77K-573K/4.5K-573K；

温控精度：0.1K/0.01K/0.001K；

稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K；

尺寸：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高；

设备重量：约100/120KG；

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移动行程：水平360°旋转，Z轴行程50.8mm；
光源：外置LED环形光源/同轴光源；
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素；

X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm；

结构：外置探针臂，真空波纹管结构；移动精度：10μm/1μm；
线缆：同轴线/三轴线/射频线；

漏电精度：10pA/100fA/10fA；

固定探针：弹簧固定/管状固定；
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子；

频率支持：DC-67GHZ ；

针尖直径：0.5μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；

真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵；

冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机；

超高温配件；
显示器；
转接头；
射频测试配件；

屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；

高压测试配件；

分子泵组；

激光系统；

气敏测试配件；

◆ 2~6英寸样品台；

◆ 高真空腔体；

◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性**；

◆ 77K-675K高低温环境；

◆ 兼容IV/CV/RF测试；

◆ 外置多探针臂，移动行程大；

◆ 经济实用，可无缝升级。

◆ 台体规格

◆ 光学系统

◆ 定位器

◆ 其他组件

◆ 可选附件