Huace HT-11高低温真空探针台
高低温真空探针台
     探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
     因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
     当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至**温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
技术参数
产品特点及应用
极低温测试
高温无氧化测试
尺寸:2英寸/4英寸/6英寸;
水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置;
样品固定:弹簧压片;
观察窗口:
2英寸/4英寸/6英寸
真空度:10^-6torr ;
探针臂接口:4~6个探针臂接口
其他接口:电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口;
制冷方式:液氮/液氦/制冷机;
温度范围:77K-573K/4.5K-573K;
温控精度:0.1K/0.01K/0.001K;
稳定性:±1K/±0.1K/±0.01K;
尺寸:880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高;
设备重量:约100/120KG;
显微镜类型:单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜;
放大倍率:16X-200X/20X-4000X;
移动行程:水平360°旋转,Z轴行程50.8mm;
光源:外置LED环形光源/同轴光源;
CCD:200万像素/500万像素/1200万像素;
X-Y-Z移动行程:50mm*50mm*50mm;
结构:外置探针臂,真空波纹管结构;移动精度:10μm/1μm;
线缆:同轴线/三轴线/射频线;
漏电精度:10pA/100fA/10fA;
固定探针:弹簧固定/管状固定;
接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子;
频率支持:DC-67GHZ ;
针尖直径:0.5μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
真空组件:分子泵组/机械泵/离子泵;
冷源组件:50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机
超高温配件
显示器;
转接头;
射频测试配件;
屏蔽箱;
光学平台
镀金卡盘;
光电测试配件

高压测试配件;
分子泵组;
激光系统;
气敏测试配件;
◆ 2~6英寸样品台;
◆ 高真空腔体;
◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性**;
◆ 77K-675K高低温环境;
◆ 兼容IV/CV/RF测试;
◆ 外置多探针臂,移动行程大;
◆ 经济实用,可无缝升级。
台体规格
光学系统
定位器
其他组件
可选附件