目前,绝大多数的电声脉冲法(pulsed electro- acoustic method,PEA)空间电荷测量装置均使用 β相的聚偏氟乙烯(polyvinylidene fluoride,PVDF)有机聚合物薄膜作为压电传感器。在温度低于 90℃时,PVDF 才能保持其压电性能稳定。在 70℃~90℃范围内,其压电应变常数(d33)随温度升高反而减小。因此,现有的绝大多数空间电荷测量只在 70℃以内进行。日本武藏工业大学Tatsuo Takada教授的课题组采用过铌酸锂(LiNbO3)压电元件,开发了适用于高温(可高达150℃)时 PEA 法空间电荷测量装置。由于加工工艺和成本的限制,目前很难获得厚度小于50μm 的LiNbO3 压电晶片。除日本外,其他地方还未见采用 LiNbO3传感器的 PEA 法空间电荷测量系统。与 PVDF 等有机聚合物传感器相比,虽然无机晶体LiNbO3 适用温度高,并且声波透射系数大(以铝板作为下电极时),但是压电电压常数小、性能综合评价系数低、难加工成很薄的压电晶片。本文选择新型耐高温共聚物压电传感器、重新设计电极系统,开发了适用于高温